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区域: 福建 泉州市
价格: 面议
有效期至: 长期有效
联系人: 李先生
联系电话: 059****,136****。请登录后查看
联系QQ: 1129406425
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最后更新: 2022-01-06 09:30
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商家基本资料信息
 
产品详细说明


砷化镓材料涂胶后坚膜烘烤箱,class100无尘室烘箱
一.用途:无尘烘箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。二.特点:1.在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 1002.全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;3.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 20"×20"装置往前门(特殊风道设计)方向送风,过滤效率99.99%,Class 100,排气口:3"φ(附自动启闭风门)4.强制送风循环方式。双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到最佳温度控制精度。三.产品技术参数:1.无尘等级:Class 100;2.温度范围: +60~ +250℃;3.升温速度:常温~+200℃,升温速度>6℃/min,4.温度均匀度:±2.5℃;(空载)5.温度精确度:±1℃(空载)6.设备型号:
型号工作室尺寸(mm)外形尺寸(mm)加热功率层板
COL-2D(双腔)W600×H500×D600W1655×H1850×D125014kw共2片
7.全周氩焊,耐高温硅胶迫紧,SUS304#不锈钢电热产生器,防机台本身产生微尘;8.内胆材料:采用进口SUS304#日制镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生 PARTICLE; 9.中桶材料:采用进口SUS304#日制镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污及氩焊密封加工(防污染)。10.保温材料:采用正厂中央玻璃纤维公司出品,100K级高密度高保温板制造。 11.电 热 器:采进口覆套式电热器 (SHEATHED HEATER)无尘化电热发生器。12.温 控 器:采用日本OMRON E5A型温度控制器,控制器LED数字显示及设定、PID自动演算、薄膜设定,精确度±0.3%FS。13.完善的安全保护措施:漏电保护/过热保护报警/电机保护报警/ 门锁工作时门自动锁/异常显示(三色警示灯)
信息来源:http://jinggongmall21.tpys.cn/
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